Polishing Slurry Supply -systemet inkluderer følgende komponenter:
- Én poleringsoppslemmingsforsyningsbøtte (60L nettokapasitet) med nivåsensor
- Ett blandingssystem
- Ett forsyningssystem (inkludert forsyningspumpe og filter) med strømningshastighet på 5-12 liter/min
- Ett tønne varmeutvekslingssystem med PLC - kontrollert temperaturregulering (20-50 grader, ± 1 grad nøyaktighet)
- Ett elektrisk system med PLC -program og PROFINET -grensesnitt (via PN/PN -kobling)
- En resirkulert poleringsoppslemmingsfiltersett
- En poleringsopprettingsinnretningsenhet
- En gjenopprettingspumpe
- Minimum to nivådetektorer (for pumpekontroll og unormale alarmer)
- Dual - Funksjonsgjenvinningsbind (gjenvinning og direkte rangeringsseksjoner) med flytkontroll
Produktparametere
01/
1.produksjonsstrøm:
Sammensetning → blanding → levering
02/
2.Major Materials:
Metallramme med PP -skallplater
PVDF pneumatisk pumpe
PFA -rør
03/
3. Spesielle funksjoner:
pH -likevekt
Termostatisk kontroll
Produktfunksjoner og applikasjoner
Systemet leverer kjemisk mekanisk poleringsoppslemming for sic wafer fabrikasjon.
Produktdetaljer
Bruker importerte materialer og PFA -kjølingsspoleør
Streng renslighetskontroll under montering
Produsert i klasse 10.000 rentromsmiljø
Forhindrer forurensning av partikkel og metall
Applikasjonsscenarier
◇ Fra april 2025 er poleringsoppslemmingssystemet solgt til over 100 endekunder for SIC Wafer -produksjon.
Populære tags: Polishing Slurry Supply System, China Polishing Slurry Supply System Produsenter
